等离子清洗设备是物理变化还是化学变化?_珠海恒格微电子装备有限公司 等离子清洗设备是物理变化还是化学变化?_珠海恒格微电子装备有限公司

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等离子清洗设备是物理变化还是化学变化?

2020-05-09 master 1720

等离子清洗体作用于材料表面使其产生一系列的物理、化学变化,利用其中所包含的活性粒子和高能射线,与表面有机污染物分子发生反应、碰撞形成小分子挥发性物质,从表面移除,实现清洁效果。


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