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等离子蚀刻设备射频：
射频（RF）是Radio Frequency的缩写，频率范围从300KHz～30GHz之间。

射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。

每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。