等离子蚀刻设备腔体是如何升温的？_珠海恒格微电子装备有限公司

等离子蚀刻设备腔体是如何升温的？

2020-05-09 master 1704

等离子蚀刻设备腔体是通过电子和等离子对工件与腔体高速撞击的电极发热导致腔体升温；

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