等离子设备冷水机是如何冷却的？_珠海恒格微电子装备有限公司

等离子设备冷水机是如何冷却的？

2020-05-09 master 1765

等离子设备冷水机冷却：10匹冷水机冷却电极；3匹冷水机冷却真空泵机射频电源；

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等离子蚀刻机铁氟龙材料清洗后：不超过4小时,如超过则需要重新清洗；

等离子蚀刻机设备铁氟龙材料使用哪些气体？

等离子蚀刻机设备铁氟龙材料使用气体：氮气,氢气,氩气；

等离子蚀刻设备一般工作气体有哪些？

等离子蚀刻设备工作气体有氧气,氮气,CF4及氩气；

等离子设备为何需要制氮机？

等离子设备制氮机利用氮气清洗真空腔体,去除工作气体残留,镇压。

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