等离子蚀刻设备使用电极感应温度还是用板子感应温度_珠海恒格微电子装备有限公司

等离子蚀刻设备使用电极感应温度还是用板子感应温度

2020-05-09 master 1852

等离子蚀刻设备会监控板面和电极温度，以板面的温度为跳步基准。

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