恒格等离子蚀刻设备和其他家等离子蚀刻设备比最大的差异（亮点）在哪里？
2020-05-09
master
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恒格等离子蚀刻设备和其他家等离子蚀刻设备比最大的差异与亮点：
腔体无缝焊接，真空漏率小于30mtorr/min；
电极一体成形，升温导热快、咬蚀率高、清洗保养不泄漏；
真空泵专利保护（变频器/过热/过流保护）；
电极、真空泵/电源采用独立冷却系统，运行更加安全稳定；
腔体前后门开启/腔体四周有可拆卸隔板方便维护保养
恒格等离子蚀刻设备和其他家等离子蚀刻设备比最大的差异与亮点：
腔体无缝焊接，真空漏率小于30mtorr/min；
电极一体成形，升温导热快、咬蚀率高、清洗保养不泄漏；
真空泵专利保护（变频器/过热/过流保护）；
电极、真空泵/电源采用独立冷却系统，运行更加安全稳定；
腔体前后门开启/腔体四周有可拆卸隔板方便维护保养
