等离子蚀刻设备电源选择40K HZ的理由_珠海恒格微电子装备有限公司

等离子蚀刻设备电源选择40K HZ的理由

2020-05-09 master 1691

等离子蚀刻设备电源选择40K HZ的理由：等离子蚀刻速率和均匀性达到完美平衡

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