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等离子蚀刻机废气是否有毒?_珠海恒格微电子装备有限公司
等离子蚀刻机废气是否有毒?
2020-05-09
master
1904
等离子蚀刻机废气真空腔体排出的废气是腐蚀性有毒气体,需要通过抽风管道排出室外;
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