等离子清洗设备电极内冷却管路直径多少？_珠海恒格微电子装备有限公司

等离子清洗设备电极内冷却管路直径多少？

2020-05-09 master 1676

等离子清洗设备电极内冷却管路直径8MM。

相关内容

等离子蚀刻设备射频电源工作原理？

等离子蚀刻设备射频电源工作原理：当chamber内部之压力低到某一程度(约10-1 torr左右)时...

什么是等离子蚀刻设备射频？

等离子蚀刻设备射频：射频（RF）是Radio Frequency的缩写，频率范围从300KHz～30...

等离子蚀刻设备均匀性计算公式出自何处？

等离子蚀刻设备均匀性计算公式出自：行业内通用的方法，[1-(max-min)/2*average]*...

等离子蚀刻设备表面均匀性27点可以做到多...

等离子蚀刻设备表面均匀性27点可以做到80%以上

微信公众号

恒格等离子微信公众号

恒格等离子微信客服