恒格等离子蚀刻设备是高频？还中频？_珠海恒格微电子装备有限公司

恒格等离子蚀刻设备是高频？还中频？

2020-05-09 master 1789

恒格等离子蚀刻设备：我们用40KHZ射频电源属于中频。

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