等离子蚀刻机主机与等离子蚀刻配套设备占地面积多少？_珠海恒格微电子装备有限公司

等离子蚀刻机主机与等离子蚀刻配套设备占地面积多少？

2020-05-09 master 1722

等离子蚀刻机主机：2544/3300*3200MM, 等离子蚀刻配套设备：3052/3500*3600MM

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