等离子蚀刻设备使用氢气能否与其他如氧气放一个房间?_珠海恒格微电子装备有限公司 等离子蚀刻设备使用氢气能否与其他如氧气放一个房间?_珠海恒格微电子装备有限公司

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等离子蚀刻设备使用氢气能否与其他如氧气放一个房间?

2020-05-09 master 1813

等离子蚀刻设备使用氢气以及氧气要独立分开房间放置,要安装气体泄漏报警器。


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