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等离子蚀刻设备使用氢气能否与其他如氧气放一个房间?_珠海恒格微电子装备有限公司
等离子蚀刻设备使用氢气能否与其他如氧气放一个房间?
2020-05-09
master
1813
等离子蚀刻设备使用氢气以及氧气要独立分开房间放置,要安装气体泄漏报警器。
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